Система трехлучевого ионного травления материалов Leica EM TIC 3Х использует принцип одновременного поперечного травления с трех направлений для подготовки поверхности для СЭМ и АСМ исследований, а также проведения ЭДС, ВДС, Оже и ДОРЭ анализа. К функциональным особенностям прибора можно отнести 3 Ar ионных пушки, столик, перемещающийся в трех направлениях и встроенный стереомикроскоп. Область применения: выявление микроструктуры сталей и сплавов, тонких минеральных включений, получение поперечных срезов объектов микроэлектроники.
