ECKDATEN
Die MAFU Robotics GmbH ist ein Mitglied der MAFU-Unternehmensgruppe und ist in den Bereichen Vakuumhandling tätig. Aber auch das Ultra-Clean- Reinraumhandling gehört zu unserem Portfolio. Das Unternehmen profitiert dabei von der langjährige Erfahrung der Schwesterunternehmen.


KERNKOMPETENZ
Wir sorgen für die Automatisierung Ihrer Aufgaben im Bereich der Halbleiterfertigung, Sensorherstellung, Analytik und Messtechnik. Mit Ihren Herausforderungen fühlen wir uns wohl. Wenn Sie besondere Anforderungen an Reinheit haben oder Ihr Material in besonderen Umgebungen wie Vakuum oder Schutzgas bewegt und bereitgestellt werden muss, sind wir der richtige Partner. Dabei kommt Ihnen unsere langjährige Erfahrung im Materialtransport im Reinraum (ultra clean), im Hochvakuum (HV) sowie im Ultrahochvakuum (UHV) zugute. Wir begleiten Sie von der Konzeption über die Abnahme und den Produktionsstart und lassen Sie auch während des Betriebs nicht allein.
Dabei decken wir sämtliche Bereiche ab. Wafer aller Größen in CVD-, PVD- oder Ätz-Prozesse zu bringen, stellt für uns keine außergewöhnliche Herausforderung dar. Mechanische-, elektrische- und Softwarekomponenten sind weitgehend aus einem ständig wachsenden Baukasten verfügbar. Wir sind auch bereit, jede dieser Komponenten an Ihre Bedürfnisse anzupassen. Dies reicht von substratspezifischen Greifern, über Aligning von beliebigen Substraten und individuellen Pumpstandsteuerungen bis hin zur softwaremäßigen Integration in Ihre MES Umgebung. Letzteres wird oft Industrie 4.0 genannt, bei uns ist das Standard.

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